激光干涉儀是精度較高的線性位移測量儀器，其光波可以直接對米進(jìn)行定義，可溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)。但是我們在使用中往往會出現(xiàn)檢測偏離值，偏離我們的預(yù)估，以至于在高精度檢測時，對設(shè)備產(chǎn)生懷疑。
1、阿貝誤差
因測量光學(xué)鏡組的安裝高度不在被測設(shè)備的運(yùn)動軸上引起的測量誤差稱之為阿貝誤差。產(chǎn)生的原因是設(shè)備移動時存在俯仰、扭擺差，因此光學(xué)鏡組與運(yùn)動軸偏置距離越遠(yuǎn)，引起的阿貝誤差越大。
2、環(huán)境因素
環(huán)境補(bǔ)償單元能準(zhǔn)確采集空氣溫度、壓力、相對濕度信息，基于Edlen公式計(jì)算空氣折射率，以此對激光波長進(jìn)行補(bǔ)償。
同時環(huán)境補(bǔ)償單元中材料溫度探頭能實(shí)時高精度測量被測設(shè)備溫度，對其進(jìn)行溫度補(bǔ)償。但是往往因?yàn)椴僮魅藛T將材料溫度探頭放置在錯誤的位置，致使采集的數(shù)據(jù)不能真實(shí)反映被測物體溫度狀態(tài)，從而增大測量誤差。
設(shè)備安裝在樓層地下室，有良好的溫度風(fēng)流控制，有效處理了環(huán)境的震動問題、氣流擾動問題。測量時因把材料溫度探頭以“錯誤方式”放置在擺放電腦的鐵架上，材料溫度探頭采集了非真實(shí)的被測物溫度信息，致使300mm量塊檢測數(shù)據(jù)超差。
把材料溫度探頭以“正確方式”放置在被測量塊周邊，并給予充分的恒溫時間，測量結(jié)果趨于中國計(jì)量院的校準(zhǔn)值。
正確方式：在線性測量中，需要開啟環(huán)境補(bǔ)償單元，并正確設(shè)置補(bǔ)償材料的種類，放置材料溫度探頭的位置。在高精度的測量中，需要給予環(huán)境補(bǔ)償單元以及被測物充分的恒溫時間。
3、余弦誤差
激光束路徑與被測軸之間存在的任何未準(zhǔn)直都會造成測得的距離和實(shí)際的運(yùn)動距離之間有差異，此誤差被稱為余弦誤差。
當(dāng)激光測量系統(tǒng)與運(yùn)動軸未準(zhǔn)直時，余弦誤差會使得測量的距離比實(shí)際距離要短。隨著未準(zhǔn)直角度的增加，誤差也跟著顯著增加。
處理方法：若激光測量出現(xiàn)余弦誤差，則激光讀數(shù)將會小于原本應(yīng)有的數(shù)值。因此，通過“輕微”調(diào)整云臺的俯仰及偏轉(zhuǎn)旋鈕直到取得最大的激光讀數(shù)，將能消除軸上的余弦誤差。
